UPTIMUM ist ein Prozessabgasentsorgungs- system mit den Verfahrensabläufen Verbrennen und Waschen. Im Gegensatz zur ESCAPE-Technologie erfolgt das Brennen von oben nach unten. UPTIMUM entsorgt sicher und effizient bis zu 500 slm Abgase aus CVD-Prozessen. Diese werden über maximal sechs separate Schadgas- einlässe zugeführt. Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Die Anlage zeichnet sich durch hohe Verfügbarkeit und Entsorgungseffizienz, wenig Serviceaufwand, geringen Platzbedarf, niedrige Anschaffungs- kosten und Netzwerkfähigkeit aus. Es können verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden.