Mit der SPRUCE-Produktfamilie erweitern wir unsere Angebotspalette der Abgasentsorgungssysteme, speziell für CVD-Prozesse in der Halbleiterfertigung. SPRUCE-Anlagen arbeiten ohne Brenngas und zeichnen sich durch geringe Investitions- und Betriebskosten sowie eine hohe Anlagenverfügbarkeit aus. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt über Vorder- bzw. Rückseite, somit ist eine platzsparende Anordnung möglich.

Funktionsprinzip

Die Prozessabgase werden in den elektrisch geheizten Reaktor geleitet. Dort werden sie thermisch aufgespaltet und es kommt in Abhängigkeit von der Zusammensetzung der Schadgase mit dem zugeführten Oxidant  zu verschiedenen Reaktionen. In der, dem thermischen Reaktor nachgeschalteten, Nasswaschstrecke werden die im Prozess entstandenen gasförmigen und festen Bestandteile durch eine entsprechende Waschflüssigkeit gebunden. Gleichzeitig erfolgt in der Nassstrecke die Abkühlung der Abgase.

SPRUCE DUO

Die SPRUCE DUO ist ein System mit zwei Reaktor-Wäschersystemen, die parallel zueinander arbeiten können. Die Prozessabgase werden über maximal zwei separate Einlässe je Reaktor zugeführt. Im Falle einer Betriebsstörung oder der Wartung eines Reaktors, übernimmt der jeweils andere Reaktor die vollständige Abgasbehandlung. Dadurch wird eine nahezu 100prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht.