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GIANT (burn/wet)

GIANT - Abgasreinigung für TFT ProzesseKlicken um Bild zu vergrößern
GIANT

GIANT ist ein Prozessabgasentsorgungssystem mit den Verfahrensabläufen Verbrennen und Waschen. Bis zu 2000 slm Abgase aus CVD-Prozessen können sicher und effizient entsorgt werden. Das System verfügt über maximal sechs separate Schadgaseinlässe. Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert.
Die Anlage zeichnet sich durch hohe Verfügbarkeit und Entsorgungseffizienz, wenig Serviceaufwand und Netzwerkfähigkeit aus. Es können verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden.

Ihre Vorteile

  • Effiziente Behandlung von brennbaren, sauren und partikelbildenden Gasen
  • kombiniert in einem System
  • Kühles Abgas
  • Die festen Partikel werden in Flüssgkeit suspendiert (keine Arbeiten mit trockenem Staub) 
  • Reduzierte Anforderungen an die Abluftleitung (Durchmesser und Durchsatz) 
  • Hoher Sicherheitsstandard (alle kritischen Parameter werden von Sensoren überwacht) 
  • Interface zum Produktionssystem
  • Optionale Ausstattung mit elektrostatischem Staubabscheider

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 2025 mm x 1530 mm x 2100 mm
  • Wartungsflächen vor- und links neben der Anlage
  • Gasanschlüsse: max. 6 x DN25 oder DN40
  • Gasauslass: DN100
  • Gasflow: max. 120 m3/h

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