- ESCAPE Prozessabgasreinigung
Die ESCAPE-Technologie ist die optimale Kombination der Verfahrensabläufe Verbrennen & Waschen auf kleinstem Raum. Sie ist eine effektive und vielseitig einsetzbare Technik für die Abgasbehandlung bei geringen Investitionskosten. Auf der Grundlage dieser Technologie haben wir eine ESCAPE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch zur Reinigung fast aller anfallenden Prozessabgase der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Neben unterschiedlichen Bauhöhen kann auch die Medienversorgung des Systems variabel ausgeführt werden. ESCAPE-Systeme können platzsparend aufgestellt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Die Instandsetzung funktioniert einfach und schnell, ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden.
Funktionsprinzip
Die Schadstoffe in den Prozessabgasen werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use, POU) beseitigt. Dazu werden die Abgase in einen ringförmigen Brenner geleitet, in dessen Flamme ihre Thermolyse einsetzt. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase kommt es zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Im anschließenden Waschprozess werden die im Verbrennungsprozess entstandenen gasförmigen und festen Bestandteile durch eine entsprechende Waschflüssigkeit gebunden. Gleichzeitig erfolgt eine Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit.
- ESCAPE INLINE
ESCAPE INLINE
ESCAPE INLINE® ist unser vielfach in der Halbleiter- und Solarzellenfertigung bewährtes Basissystem. Es entsorgt bis zu 300 slm Abgas aus verschiedensten Prozessen, das über maximal vier separate Schadgaseinlässe zugeführt wird.
Die Anlage weist zahlreiche Vorteile auf, wie eine hohe Entsorgungseffizienz, niedrige Anschaffungskosten, Netzwerkfähigkeit zur Optimierung der Betriebskosten und eine kleine Stellfläche. Alternativ zum Waschflüssigkeits-Durchlaufsystem kann die Anlage auch mit Wasser sparendem Waschflüssigkeits-Kreislaufsystem ausgerüstet werden.
Die Anlage ist in zwei Bauhöhen lieferbar. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden.
Spezifikationen
- bis zu vier getrennte Einlässe
- verschiedene Brenngase möglich
- geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems
- in zwei Höhen verfügbar
- SEMI S2 gerecht
Technische Daten
- Größe (B x T x H):
855 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
- Gaseinlässe: max. 4 x DN25 oder DN40
- Gasauslass: max. DN100
- Gasfluss: max. 18 m3/h
- ESCAPE DUO
ESCAPE DUO
Die ESCAPE DUO ist ein System mit zwei Reaktor-Wäschersystemen, die parallel zueinander arbeiten können. Es kann bis zu 300 slm Abgas entsorgt werden, das über maximal zwei separate Einlässe je Reaktor zugeführt wird. Im Falle einer Betriebsstörung oder der Wartung eines Reaktors, übernimmt der jeweils andere Reaktor die vollständige Abgasbehandlung. Dadurch wird eine nahezu 100prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht.
Alternativ zum Waschflüssigkeits-Durchlaufsystem kann die Anlage auch mit Wasser sparendem Waschflüssigkeits-Kreislaufsystem ausgerüstet werden.
Die ESCAPE DUO ist in zwei Bauhöhen lieferbar. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden.
Spezifikationen
- bis zu zwei getrennte Schadgaseinlässe und Backup-Kanäle pro Reaktor
- fast 100 % Verfügbarkeit durch Backup-Funktion
- zweiter Reaktor erlaubt unterbrechungsfreien Betrieb während der Wartung
- verschiedene Brenngase
- geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems
- verfügbar in zwei Höhen
- SEMI S2 gerecht
Technische Daten
- Größe (B x T x H):
1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
Wartungsfläche vor und hinter der Anlage - Gaseinlässe: max. 2 x 2 DN25 oder DN40
- Gasauslass: max. 2 x DN100
- Gasfluss: max. 18 m3/h
- ESCAPE TWIN
ESCAPE TWIN
Die ESCAPE TWIN® ist ein System mit einem Haupt- und einem Backup-Reaktor. Über maximal vier separate Einlässe kann dem Hauptreaktor bis zu 300 slm Abgas zugeführt werden. Im Falle einer Betriebsstörung oder einer Wartung des Hauptreaktors, übernimmt der Backup-Reaktor die Abgasbehandlung. Es wird eine nahezu 100prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht. Alternativ zum Waschflüssigkeits-Durchlaufsystem kann die Anlage auch mit Wasser sparendem Waschflüssigkeits-Kreislaufsystem ausgerüstet werden. Die ESCAPE TWIN® ist in zwei Bauhöhen lieferbar. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden.
Spezifikationen
- Hauptreaktor mit bis zu vier getrennten Schadgaseinlässen
- fast 100 % Verfügbarkeit aufgrund der Backup-Funktion
- Backup-Reaktor erlaubt unterbrechungsfreien Betrieb während der Wartung
- verschiedene Brenngase
- geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems
- SEMI S2 gerecht
Technische Daten
- Größe (B x T x H):
1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
Wartungsfläche vor und hinter der Anlage - Gaseinlässe: max. 4 x DN25 oder DN40
- Gasauslass: max. 2 x DN100
- Gasfluss: max. 18 m3/h
- ESCAPE TWICE
ESCAPE TWICE
Die ESCAPE TWICE ist ein komplett doppeltes System innerhalb eines Gehäuses mit einer gemeinsamen Steuereinheit. Das Doppel-System entsorgt bis zu 300 slm Abgas pro Reaktor, das über maximal vier separate Schadgaseinlässe je Reaktor zugeführt wird. Prinzipiell ist diese ESCAPE-Version in den gleichen Varianten wie die ESCAPE INLINE® erhältlich.
Spezifikationen
- bis zu vier getrennten Schadgaseinlässen je Reaktor
- verschiedene Brenngase
- geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems
- SEMI S2 gerecht
Technische Daten
- Größe (B x T x H):
1650 mm x 675 mm x 2070 mm
Wartungsfläche vor und hinter der Anlage - Gaseinlässe: max. 2 x 4 x DN25 oder DN40
- Gasauslass: max. 2 x DN100
- Gasfluss: max. 2 x 18 m3/h
