Funktionsprinzip
AQUABATE ist ein reines Nasswäschersystem zum effizienten Auswaschen wasserlöslicher Schadstoffe aus Prozessabgasen. Eine durchschnittliche Entsorgungseffizienz von über 99 % wird durch eine optimale Chemiekaliendosierung erreicht. Vor allem in der Halbleiterindustrie wird das System als Point-of-Use Wäscher eingesetzt. Möglichst nah hinter den Vakuumpumpen installiert, schützt AQUABATE das FAB-Abluftsystem optimal vor Verunreinigung und Korrosion.
- AQUABATE ONE
AQUABATE ONE
AQUABATE ONE wird zur Entsorgung von Poly Etch-, Metal Etch- und Nitride CVD- Prozessen eingesetzt. Sie behandelt bis zu 300 slm Abgase, die über maximal drei separate Schadgaseinlässe zugeführt werden. Die speziell konstruierten Einlässe verhindern das Verblocken. Sowohl die Einlässe als auch die Zuleitungen sind optional beheizbar. Zur Erhöhung der Wascheffizienz kann das Waschwasser optional mit Chemikalien angereichert werden.
Trotz der kleinen Baugröße sind alle Baugruppen und Armaturen gut zugänglich. Die Wartung funktioniert einfach und schnell. Zur Optimierung der Betriebskosten ist eine Kopplung zur Prozessanlage möglich.
Spezifikationen
- hohe Sicherheitsstandards
- bis zu drei beheizbare Gaseinlässe
- automatische Bypassventile
- geringer Platzbedarf
- geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems
- Prozess-Tool Inferface
Technische Daten
- Größe (B x T x H):
750 mm x 950 mm x 1850 mm
Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
- Gaseinlässe: max. 3 x DN25 oder DN40
- Gasauslass: DN63
- Gasfluss: max. 24 m3/h
- AQUABATE EPI
AQUABATE EPI
AQUABATE EPI wurde speziell für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen in der Halbleiterindustrie entwickelt. Schwerpunkt ist dabei die Einhaltung hoher Sicherheitsstandards, die sich aus der Verwendung des Trägergases Wasserstoff bei diesem Prozess ergeben. Nach dem Waschverfahren wird der Wasserstoff kontrolliert auf die untere Explosionsgrenze (UEG) verdünnt.
AQUABATE EPI behandelt bis zu 500 slm Abgase, die über maximal drei separate Schadgaseinlässe zugeführt werden. Die speziell konstruierten Einlässe verhindern das Verblocken. Die Anlage ist sehr wartungsfreundlich. Weitere Vorteile sind die hohe Entsorgungseffizienz, niedrige Anschaffungskosten sowie eine kleine Stellfläche. Durch eine Prozesskopplung können die Betriebskosten optimiert werden.
Spezifikationen
- hohe Sicherheitsstandards
- Sicherheitskonzept für Wasserstoff-Handling
- bis zu drei beheizbare Gaseinlässe
- geringer Platzbedarf
- Prozess-Tool Interface
Technische Daten
- Größe (B x T x H):
1020 mm x 930 mm x 1800 mm
Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
- Gaseinlässe: max. 3 x DN40
- Gasauslass: DN40
- Gasfluss: max. 30 m3/h
