
Bei vielen Produktionsprozessen in Industrie und Forschung werden Prozessgase verbraucht und Abgase erzeugt. Diese Abgase sind Treibhausgase („Greenhouse Gases“), giftig und/oder leicht entzündbar, und oft mit erheblichen Risiken für Produktionsstätten und Umwelt verbunden. So werden in der Halbleiterindustrie beispielsweise perflourierte Kohlenwasserstoffe eingesetzt, die ein extrem hohes Treibhauspotential („Global Warming Potential“) haben.
Durch die Zusammenführung und den Transport verschiedener Abgase in zentrale Abgassysteme der Fabriken können leicht entzündliche bzw. hoch explosive Gasgemische entstehen, was schon zum Totalverlust von ganzen Fabriken geführt hat. Mitgeführte Partikel können die Transportleitungen zusetzen. Zu eliminieren sind diese Risiken, wenn man die Abgase aus den Prozessen direkt am Ort ihrer Entstehung („Point of Use“) reinigt und die schädlichen Abgase gleich dort entsorgt. Zu Beginn der 90er Jahre gab es dafür keine geeignete umfassende technische Lösung.
Seit 1992 übernehmen diese Aufgabe die POU-Anlagen (POU = point of use), die DAS Environmental Expert GmbH entwickelt und herstellt. Die DAS-Anlagen sind faktisch an allen modernen Beschichtungs- und Ätzanlagen der Chipindustrie einsetzbar. Die Abgase werden sicher und umweltgerecht gereinigt, so dass die Abluft auch die Anforderungen der deutschen TA-Luft erfüllt.
Die DAS-Technologie basiert dabei auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Die kleinsten Anlagen passen komplett in einen Schrank mit deutlich weniger als 1x1 Meter Grundfläche. Die DAS-Anlagen arbeiten voll automatisiert und sensorgesteuert. Sie erfüllen höchste, zertifizierte Sicherheitsstandards.
DAS verfügt auf dem Gebiet der Abgasreinigung über 14 registrierte Patente und weitere Nutzungsrechte für wichtige Technologien und technische Lösungen.
